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廣州潽拓光電科技有限公司——阿爾卡特進(jìn)口分子泵 Alcatel ATH1600M分子泵維修

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   真空泵維修中，一般會(huì )接到以下幾個(gè)故障案例：①會(huì )出現真空泵無(wú)法啟動(dòng)；②真空泵達不到極限真空；③真空泵的抽速太慢；④真空泵工作中的溫度過(guò)高；⑤真空泵的噪音過(guò)大；⑥真空泵漏油。本文主要來(lái)詳細分析下真空泵無(wú)法啟動(dòng)這一個(gè)問(wèn)題，用過(guò)真空泵的用戶(hù)應該都會(huì )知道，使用真空泵的過(guò)程中，如果長(cháng)期未使用或者出現故障時(shí)都會(huì )導致真空泵無(wú)法正常啟動(dòng)，例如，啟動(dòng)一下就會(huì )突然停下了，甚至都啟動(dòng)不了。Alcatel ATH1600M分子泵維修

 真空泵機械選擇：

      真空設備對油污染的要求。若設備嚴格要求無(wú)油時(shí)，應該選各種無(wú)油泵，如：水環(huán)泵、分子篩吸附泵、濺射離子泵、低溫泵等。如果要求不嚴格，可以選擇有油泵，加上一些防油污染措施，如加冷阱、障板、擋油阱等，也能達到清潔真空要求。Alcatel ATH1600M分子泵維修

      真空泵排出來(lái)的油蒸氣對環(huán)境的影響如何。如果環(huán)境不允許有污染，可以選無(wú)油真空泵，或者把油蒸氣排到室外。

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視頻作者：廣州潽拓光電科技有限公司

廣州潽拓光電科技有限公司——阿爾卡特進(jìn)口分子泵 阿爾卡特渦輪分子泵維修

渦輪分子泵可短時(shí)承受大氣的沖擊，并有啟動(dòng)快、制動(dòng)快、比較潔凈的優(yōu)點(diǎn)。這種泵特別適用于在大排氣量下工作,壓力為 10-Pa 以上時(shí)泵的排氣量幾乎是定的，這時(shí)只與前級泵的大小有關(guān);在這個(gè)范圍內可忽略抽速的不穩定性和潤滑油的返流影響。這些特性恰好是油擴散泵所不具備的。這一特點(diǎn)，對于要求先抽到高真空，然后再在以壓力為 0.1~1Pa的真空系統內以連續氣流工作的濺射薄膜沉積來(lái)說(shuō)是十分重要的。阿爾卡特渦輪分子泵維修

在這個(gè)特殊管道中，蒸汽經(jīng)過(guò)噴嘴的出口到擴壓器入口之間的這個(gè)區域(混合室)，由于蒸汽流處于高速而出現一個(gè)負壓區。此處的負壓要比工作蒸汽壓強和泵出口處所能承受的大壓強(反壓強)低很多。阿爾卡特渦輪分子泵維修

此時(shí)，被抽氣體吸進(jìn)混合室，工作蒸汽和被抽氣體相互混合并進(jìn)行能量交換，把工作蒸汽靜壓能轉變來(lái)的動(dòng)能傳給被抽氣體，混合氣流在擴壓器擴張某而產(chǎn)生正激波，波后的混合氣流速度降為亞音速，混合氣流的壓力上升。亞音速的氣流在擴壓器的漸擴流動(dòng)時(shí)是降速增壓的?；旌蠚饬髟跀U壓器出口處，壓力增加，速度下降，而后從壓出口排出。故噴射泵也是一臺氣體壓縮機。阿爾卡特渦輪分子泵維修

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廣州潽拓光電科技有限公司——阿爾卡特進(jìn)口分子泵 真空泵維修價(jià)格

分子泵渦輪分子泵主要分為立式和臥式兩種。復合分子泵它是由渦輪式和牽引式兩種分子泵串聯(lián)組合起來(lái)的一種復合型的分子真空泵。臥式渦輪分子泵，這種結構的分子泵是雙軸流的，吸氣口在兩組抽氣單元的中央，氣體吸入后，分別被左右兩側的葉列組合抽走。立式渦輪分子泵，泵由泵殼、渦輪葉列組件和電動(dòng)機等組成?，F代渦輪分子泵轉子和定子之間的間隙較大，通常在lmm左右，因此泵工作時(shí)很安全。真空泵維修價(jià)格

薄膜沉積指在晶圓表面生成多種薄膜，這些薄膜可以是絕緣體、半導體或導體。它們由不同的材料組成，是使用多種工藝生長(cháng)或沉積的。通用的沉積技術(shù)有化學(xué)氣相淀積（CVD）、蒸發(fā)和濺射PVD。一般來(lái)說(shuō)，其中還要夾雜低溫（≤500℃）退火工藝等熱處理工藝，用以增進(jìn)金屬層和半導體之間的低電阻接觸、消除內應力等。設備運行過(guò)程中需要高潔凈的真空環(huán)境，一般采用以磁懸浮分子泵為主的無(wú)油真空系統。真空泵維修價(jià)格

IC制造行業(yè)屬于典型的技術(shù)密集型行業(yè)，產(chǎn)品技術(shù)含量非常高，同時(shí)對配套產(chǎn)業(yè)要求較高，其中就包括真空設備配套產(chǎn)業(yè)。真空設備（真空閥、真空泵、真空腔體及管道等）是半導體各工藝制程環(huán)節必備的通用設備，廣泛應用于芯片生產(chǎn)制造過(guò)程。真空泵維修價(jià)格

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